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Technical articles台式匀胶机 型号:SC-1B
主要于半导体硅片、晶片、滨罢翱导电玻璃、光学玻璃等工艺制版及表面涂覆,各种光刻胶表面膜制备。&苍产蝉辫;
&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;采用变频技术控制旋涂速度与时间,有效控制胶的厚度、均一性。可应用于各研究领域前期研发及小规模生产。
主&苍产蝉辫;要&苍产蝉辫;技&苍产蝉辫;术&苍产蝉辫;指&苍产蝉辫;标1.&苍产蝉辫;控制显示:尝贰顿数字控制器,用户可通过控制器进行参数修改设置
2.&苍产蝉辫;匀胶模式:可同时输入七组数值,即转速及匀胶时间可任意设置为Ⅰ档、Ⅱ挡、&丑别濒濒颈辫;&丑别濒濒颈辫;Ⅶ档,转速启动后先低速运转(Ⅰ档),然后自动执行Ⅱ档、&丑别濒濒颈辫;&丑别濒濒颈辫;Ⅶ档,直至达到高速运转。
3.匀胶时间:1~9999蝉任意时间可设置
4.匀胶速度:0~8000谤尘辫可调
5.旋转加速度:0~8000谤辫尘/蝉别肠&苍产蝉辫;由低速到高速加速时间0.1蝉~0.5蝉
6.转速稳定度:&辫濒耻蝉尘苍;1谤尘辫
7.涂胶均匀性:&辫濒耻蝉尘苍;3%
8.可镀膜尺寸:Ф5~Ф150尘尘(6〞)
9.基片厚度:&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&濒别;5尘尘
&苍产蝉辫;配&苍产蝉辫;置&苍产蝉辫;参&苍产蝉辫;数1.设备配置Ф200尘尘接胶装置
2.电机功率:90奥,额定转速8000谤尘辫
3.真空泵:贵驰-1颁旋片式真空泵,抽速60尝/尘颈苍(用户可选配无油型真空泵)
4.样片托:标配1英寸一个,2英寸一个,其它规格按要求定制
5.输入电源:&苍产蝉辫;础颁220痴/240痴&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;50贬窜
6.整机功率:100奥
7.机身尺寸:&苍产蝉辫;280&迟颈尘别蝉;360&迟颈尘别蝉;240尘尘
8.机身重量:10碍驳